近期加🥯地哲团队采用等离子体原子层沉积👨👦🔤（PEALD🕶）制备铝硅复🥠。
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近期加🥯地哲团队采用等离子体原子层沉积👨👦🔤（PEALD🕶）制备铝硅复🥠。
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